檢查 IC 晶片、精密電子元件上微小的異物和缺陷的裝置。

有全自動傳送晶圓系統的 Vi-2200 型號及低價格的手工運送晶圓的 Vi-1200 型號可供選擇。

可進行高速檢查，一個視野 2.45 mm 角度只需 0.3秒         (Vi-2200) 和 0.8 秒 (Vi-1200)。

依靠新開發的缺陷檢測阿拉伯記數法和高敏感度的光學系統，即使存儲集成電路這樣複雜的集成電路也能檢測出其微小的缺陷。

在視野內，可同時對複數個的晶圓進行檢查 。(Vi-2200 最大可同時檢查 64 個，Vi-1200 為 144 個)

通過專用的檢測光學系統，實現最合適的分辨力和更深的焦點深度。

進行晶片單品合格與否的判定，保存不合格晶片的位置信息，有利於外觀檢查工程的合理化和提高品質。