以高靈敏度探測粘附於晶圓表面的粉塵。
是儀器生產過程控制、設備生產粉塵評估及物料生產質量評價的有效工具。
體積細小、節省空間 (寬 750 X 深 750 X 高 1,425 毫米)。
靈敏度高達 0.1 微米 (裸焊晶圓)，並具有高重復性及寬動態量程。
適用於各種鍍膜晶圓的粉塵控制。
→ 主要性能
其設計佔用空間小，安裝空間只需寬 54 mm X 深 52 mm。價格實惠，約為市場上其他同類型產品一半。
具有易於操作的扁平鍵盤和便於觀看的等離子顯示器，可進行測定條件設置與輸出。
探測出來的粉塵分為三類，其數量和位置均可顯示在一張圖表上打印出來。
主要性能 回首項
150 / 200 mm,125 / 150 mm, 100 / 125 mm (亦可選擇)
100 / 125 / 150 mm 或者
76 / 100 / 125 mm (亦可選擇)
