工業儀器

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在現今的半導體工業裡，掌握尺寸測量可靠度的重要性與日俱增。在半導體製程中，晶圓的直徑不斷增大，而集成電路的設計也日益精細複雜，多款  Topcon 半導體及 LCD 的相關生產系統，致力改善產量及降低制造成本。為配合半導體行業之發展，TOPCON 生產了一系列之半導體管理設備。

其中包括 WM 系列  Wafer 表面掃描儀，其用於半導體前工序經 CVD、CMP 處理之的 Wafer 表面，以 Laser Beam 掃描 Wafer 表面之 COP 值、粉塵及微刮痕等之位置信息。

VI-2200 半導體芯片外觀檢查裝置為用於 Wafer IC 芯片晶圓切割前及切割後之外觀檢查，使用對合格品的記憶，進行自動高速自動檢查 IC 芯片、精密電子元件上微小的異物和缺陷的裝置，進行晶片單品合格與否的判定，保存不合格晶片的位置信息，代替以往用顯微鏡檢查發生之人為錯誤影響，進而合理化及改善目視檢測製程的品質。

LCD 玻璃基板的近距曝光機，用於大型 LCD 彩色液晶基板 (Color Filter) 的 UV 曝光機，最大曝光可達 730X920 毫米，新研發的照明光學系統及高精度的空調系統使傳送準確度極高。此外，本系統支援高產量的線上功能，如全自動運送基板、定位及曝光。